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絕緣硅片SOI應用介紹
SOI是指將一薄層硅置于一絕緣襯底上。晶體管將在稱之為'SOI'的薄層硅上制備?;赟OI結(jié)構(gòu)上的器件將在本質(zhì)上可以減小結(jié)電容和漏電流,提高開關(guān)速度,降低功耗,實現(xiàn)高速、低功耗運行。作為下一代硅基集成電路技術(shù),SOI廣泛應用于微電子的大多數(shù)領(lǐng)域,同時還在光電子、MEMS等其它領(lǐng)域得到應用。為滿足更多客戶要求,蘇州建道電子有限公司也提供超薄頂層和超薄絕緣層;
絕緣硅片SOIwafer尺寸
4”,5”,6”,8"。
絕緣硅片底層厚度
>200um;頂層厚度:>2um。
絕緣硅片導電類型
N-Type、P-Type、非摻高阻。
絕緣硅片頂層厚度:70nm、145nm、220nm、340nm等。
絕緣硅片絕緣層厚度:145nm、500nm等。
絕緣硅片SOI工業(yè)性能特點
頂層硅的厚度可根據(jù)應用的不同而變化。借助精密儀器,鍵合技術(shù)以及外延設備,頂層硅最薄可達20納米,最厚可至幾十微米或更多。一個更厚的頂層硅對光通訊及MEMS器件尤其重要。
1.提高運行速度
在特定的電壓下,建在SOI材料上電路的運行速度比建在普通硅材料上電路的速度提高百分之30%,這極大地提高了微處理器和其它裝置的性能。
2.降低能量損耗
SOI材料能降低近30%-70%的能量消耗,特別適用于對能量消耗比較高的領(lǐng)域。
3.改進運行性能
SOI材料能承受高達350攝氏度甚至500攝氏度的高溫,對那些在惡劣環(huán)境下必須運轉(zhuǎn)良好的設備特別適用。
4.減小封裝尺寸
SOI材料能滿足IC制造商對產(chǎn)品越來越小的要求。