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晶圓盒

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晶圓盒用于在半導體制造操作期間運輸和存儲晶圓。 它們也稱為晶圓載具，旨在容納或承載多個相同尺寸的晶圓，并提供多種材料以支持特定應用，例如熱處理。

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