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晶圓儲存箱用于晶圓的安全儲存和運(yùn)輸。在運(yùn)輸過程中，晶圓載具移動和晶圓顫動可能會導(dǎo)致顆粒產(chǎn)生。能夠使用相同的盒子和存儲晶圓，減少摩擦和污染風(fēng)險，用于在工藝之間轉(zhuǎn)移或調(diào)度，不能用于化學(xué)工藝。
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