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日本HUGLE電子HS-1810晶圓擴(kuò)展器Wafer expander性能特征
膠片儲(chǔ)備加熱機(jī)制(帶定時(shí)器);階段加熱(最高100℃);載物臺(tái)行程調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(最大90毫米,1毫米范圍);變級機(jī)構(gòu)中的上升速度;薄膜自動(dòng)切割機(jī)構(gòu);晶圓尺寸(最大8英寸);各種增強(qiáng)環(huán)框架;高精度的沖程可以通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)的平臺(tái)上升來設(shè)定。
日本HUGLE電子HS-1810晶圓擴(kuò)展器Wafer expander應(yīng)用參數(shù)
力量:交流100伏5安、50/60赫茲;重量:35公斤;大?。?85毫米×400毫米×350毫米。
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