日本SAMCO薩姆肯PC-1100等離子清洗機(jī)Plasma cleaner性能特征

最大加工尺寸為400mm x 400mm 靈活的架式電極可以在RIE或等離子體蝕刻模式下處理各種樣品。工藝室可配置多個(gè)大型加工架，以滿足大批量生產(chǎn)的要求。全自動(dòng) "一鍵式 "操作，可完全手動(dòng)操作。帶觸摸屏的PLC控制器提供直觀的圖形界面 干式泵和系統(tǒng)布局便于維護(hù)。可靠、耐用的系統(tǒng)，全球安裝了150多個(gè)系統(tǒng)。