ATRM-2100UV晶圓保護(hù)膠帶去除機(jī)

日本TAKATORI高取ATRM-2100UV晶圓保護(hù)膠帶去除機(jī)Wafer Protective Tape Removal Machines，12英寸(300毫米)晶圓的保護(hù)帶移除器。晶片盒和維護(hù)部分之間的分隔通過將維護(hù)部分置于潔凈室之外而最小化了潔凈室的空間。用獨(dú)特的晶圓臺(tái)精確地固定晶圓，并在不施加應(yīng)力的情況下移除保護(hù)帶。交互模式使操作更容易。 (可選)FOUP盒式磁帶，自動(dòng)導(dǎo)引車和OHT協(xié)議，內(nèi)置紫外線輻射裝置。

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