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晶圓拋光粘合劑特征
?SPA系列:藍(lán)寶石晶片拋光用粘合劑;
?高軟化點和優(yōu)異的耐熱性;
?無粘合性;
?優(yōu)異的旋涂性能。
晶圓拋光粘合劑工藝應(yīng)用參數(shù)
型號 SPA-140 SPA-230N 成分 天然樹脂酯 天然樹脂酯 外貌 藍(lán)色液體 藍(lán)色液體 固含量(%) 40 ± 0.5 40 ± 0.5 粘度(cps 25℃) 5~10 5~10 比重(25℃) 0.87 ~0.89 0.87 ~0.89 酸值(mgKOH/g) 70~75 70~75 軟化點(℃) 85~90 85~90 溶劑 2-丙醇 (IPA) 1-丙醇(正丙醇)
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