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有機(jī)硅精細(xì)化學(xué)品應(yīng)用技術(shù)解決方案服務(wù)商
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東莞市建盟化學(xué)有限公司提供世界知名品牌半導(dǎo)體晶圓制造顯影設(shè)備應(yīng)用工藝技術(shù)。顯影設(shè)備應(yīng)用包括隨著3dnand工藝的逐步發(fā)展,臺(tái)階工藝過(guò)程中需要增加光刻膠的厚度,以提高單次刻蝕工藝所能制成的臺(tái)階數(shù),從而提高工藝穩(wěn)定性,減少制程負(fù)荷和工藝成本。隨著光刻膠厚度的增加,顯影的要求也會(huì)隨之提高。噴頭從晶圓的一邊開(kāi)始,勻速向另一邊掃描前進(jìn),并持續(xù)噴液。這種掃描噴液的方式可以使顯影液逐漸平鋪在晶圓表面。
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